特許

J-GLOBAL ID：200903083362168676

圧電素子及びその駆動方法、圧電装置

発明者： 坂下 幸雄
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (2件)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-277109
公開番号（公開出願番号）：特開2007-088319
出願日： 2005年09月26日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

【課題】 圧電素子において、所望の歪変位量が安定的に得られ、温度特性が良好なものとする。【解決手段】 圧電素子1は、圧電体4と電極3、5とを備え、圧電体4は、電界無印加時に結晶配向性を有する第1の強誘電体結晶であり、所定の電界強度E1以上の電界印加により、第1の強誘電体結晶の少なくとも一部が第1の強誘電体結晶とは異なる結晶系の第2の強誘電体結晶に相転移する特性を有する無機化合物多結晶からなり、下記式(1)又は(2)を充足する条件で、駆動されるものである。Emin<Emax<E1・・・(1)E2<Emin<Emax・・・(2)(Emin:最小電界印加強度、Emax:最大電界印加強度、E1:第1の強誘電体結晶から第2の強誘電体結晶への相転移が開始する最小の電界強度、E2:第1の強誘電体結晶から第2の強誘電体結晶への相転移が略完全に終了する電界強度)【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

圧電性を有する圧電体と、該圧電体に対して所定方向に電界を印加する電極とを備えた圧電素子において、 前記圧電体は、電界無印加時に結晶配向性を有する第1の強誘電体結晶であり、所定の電界強度E1以上の電界印加により、前記第1の強誘電体結晶の少なくとも一部が該第1の強誘電体結晶とは異なる結晶系の第2の強誘電体結晶に相転移する特性を有する無機化合物多結晶(不可避不純物を含んでもよい)からなり、 最小電界印加強度Emin及び最大電界印加強度Emaxが下記式(1)又は(2)を充足する条件で、駆動されるものであることを特徴とする圧電素子。 Emin<Emax<E1・・・(1) E2<Emin<Emax・・・(2) (式中、電界強度E1は、第1の強誘電体結晶から第2の強誘電体結晶への相転移が開始する最小の電界強度である。電界強度E2は、第1の強誘電体結晶から第2の強誘電体結晶への相転移が略完全に終了する電界強度である。E1≦E2である。)

IPC (5件)：

H01L 41/083 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/187

FI (7件)：

H01L41/08 P ,  H01L41/08 C ,  H01L41/22 B ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特許第3568107号公報
  
• 圧電アクチュエータ及びその駆動方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-156827   出願人：株式会社デンソー