特許
J-GLOBAL ID：200903083370230810
動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法、プログラム、記録媒体、振動シミュレータ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
橋爪 健
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2005019985
公開番号（公開出願番号）：WO2006-049120
出願日： 2005年10月31日
公開日（公表日）： 2006年05月11日
要約：
動的AFM探針の振動特性をシミュレートする。 任意の動作パラメータ(例えば、探針の変位u0、カンチレバーのバネ定数k、探針の曲率半径R1)に対して、探針が先端に取り付けられた板バネ状のカンチレバーを機械的に共振させながら上下動させて、試料表面の構造を観察する動的モード原子間力顕微鏡(AFM)探針の振動特性をシミュレートして、探針の初期位置u0毎の定常状態の振動情報を記録し(変位u-時刻τ)(S103、S104)、記録された振動情報に基づいてGUIで探針の運動を可視化する。一方、AFMで得られる主要なスペクトロスコピー、例えば、振幅a-探針初期位置u0関係や、相互作用力F-探針初期位置u0関係を求め、探針(カンチレバー)の表面への接近および引き離し運動に対応させてグラフ化する。
請求項（抜粋）：
突起のついた探針が先端に取り付けられたカンチレバーを、機械的に共振させながら試料表面に接近させ及び/又は引き離させて、試料表面の構造を観察する動的モード原子間力顕微鏡探針の振動特性をシミュレートするための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法であって、
処理部は、カンチレバーの接近及び/又は引き離しの出発位置及び折り返し位置と、探針の曲率半径と、探針についている突起の曲率半径と、カンチレバーのバネ定数とを入力部から入力するステップと、
処理部は、探針の初期位置に対する変位の初期値と、探針の速度の初期値とをそれぞれ設定するステップと、
処理部は、探針の初期位置を入力された出発位置に設定するステップと、
処理部は、設定された探針の初期位置と、設定された探針の変位及び速度の初期値と、入力された探針の曲率半径、突起の曲率半径及びカンチレバーのバネ定数とに基づき、カンチレバーの探針の取り付けられていない側を振動させた場合の探針の次式で表す運動方程式を解くことで、時刻毎の、探針の変位と探針の速度を求めるステップと、
IPC (1件)：
FI (1件)：
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