クリーンルームにおける空気処理装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳田良徳 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-160595
公開番号（公開出願番号）：特開平9-014713
出願日： 1995年06月27日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】【目的】処理風量が少なくて済むと同時にガス除去効率及び冷却効率を高める。【構成】室内気流を天井面から床下へ流すように構成したクリーンルーム1と、クリーンルーム1内に設置された対象機器3と、構造部材8上に支持され、多数の通気孔6が形成された床部材7と、対象機器3に近接して構造部材8に吊り下げられたフィルタコイルユニットFCUと、フィルタコイルユニットFCU内に設けられたガス状物質除去フィルタA、冷却コイルC及びファンBとを備えた構成。

請求項（抜粋）：

室内気流を天井面から床下へ流すように構成したクリーンルームと、該クリーンルーム内に設置された対象機器と、構造部材上に支持され、多数の通気孔が形成された床部材と、前記対象機器に近接して前記構造部材に吊り下げられたフィルタコイルユニットと、該フィルタコイルユニット内に設けられたガス状物質除去フィルタ、冷却コイル及びファンとを備えたことを特徴とするクリーンルームにおける空気処理装置。

IPC (3件)：

F24F 7/06 , B01D 46/00 , F24F 13/28

FI (3件)：

F24F 7/06 C , B01D 46/00 D , F24F 1/00 371 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

クリーンルーム床パネル
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-115597 出願人：日本電気株式会社
特開平4-309736

前のページに戻る