特許

J-GLOBAL ID：200903083438304760

フィルムキャリア用ベースフィルムテープ検査装置

発明者： 益子 泰昭 ,  萩原 弘太
出願人/特許権者： 三井金属鉱業株式会社
代理人 (1件)： 小林 英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-156731
公開番号（公開出願番号）：特開2000-349127
出願日： 1999年06月03日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】【課題】 半導体IC用フィルムキャリアテープの製造工程において、ベースフィルムテープの閉塞孔の検査を加工スピードに対応した速度で、容易に、かつ自動で行える外観検査装置を提供する。【解決手段】 パーフォレーション孔パターンの基準位置に対する相対的位置情報を生成する位置情報生成手段と、前記ベースフィルムテープの閉塞孔パターンの画像を採取する画像採取手段と、前記ベースフィルムテープの閉塞孔に画像採取と同じ側から均一な散乱光を照射する照明手段と、前記画像採取手段で採取した画像データを処理して閉塞孔不良を判別する判別処理手段等、を具備する。

請求項（抜粋）：

リールに巻回されたベースフィルムテープを搬送する駆動手段と、前記駆動手段によって搬送される前記ベースフィルムテープのパーフォレーション孔を検出して計数し、前記パーフォレーション孔パターンの基準位置に対する相対的位置情報を生成する位置情報生成手段と、前記位置情報生成手段から所定間隔離間した画像採取位置で、前記ベースフィルムテープの閉塞孔パターンの画像を採取する画像採取手段と、前記ベースフィルムテープの閉塞孔に画像採取と同じ側の面から均一な散乱光を照射する照明手段と、前記画像採取手段で採取した画像データを処理して閉塞孔不良を判別する判別処理手段と、前記ベースフィルムテープの搬送路に沿い、前記画像採取位置から所定間隔離間して配設され、前記ベースフィルムテープに識別マークを施すマーキング手段と、前記ベースフィルムテープをリールに巻取る巻取り手段と、を具備して、ベースフィルムテープの閉塞孔を検査することを特徴とするフィルムキャリア用ベースフィルムテープ検査装置。

IPC (2件)：

H01L 21/60 311 ,  G01N 21/89

FI (2件)：

H01L 21/60 311 W ,  G01N 21/89 620 A

Fターム (15件)：

2G051AA41 ,  2G051AA90 ,  2G051AB20 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB05 ,  2G051DA01 ,  2G051DA06 ,  2G051DA15 ,  2G051EA11 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051FA10 ,  5F044MM49

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 光学的欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-238047   出願人：ジェネシス・テクノロジー株式会社
• キャリアテープの検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-143845   出願人：信越ポリマー株式会社