特許
J-GLOBAL ID：200903083478968599
クリーンルーム用ファンフィルタユニットの運転監視装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-283462
公開番号（公開出願番号）：特開平9-122427
出願日： 1995年10月31日
公開日（公表日）： 1997年05月13日
要約：
【要約】【課題】電源ケーブルや故障信号等を伝送するケーブルの敷設量を減らすとともに配線作業を容易にし、配線工事の低価格化と工期の短縮化を可能にする。【解決手段】監視盤60に対して複数の通信ユニット70を通信ケーブル90を介して直列に接続するとともに、各通信ユニット70に複数のファンフィルタユニット80を信号ケーブル92を介して接続する。監視盤60は、運転監視用の信号を通信ケーブル90及び通信ユニット70を介して送信するとともに、通信ケーブル90及び通信ユニット70を介して順次受信する各ファンフィルタユニット80の運転状況を示す信号に基づいて表示手段に各ファンフィルタユニット80の運転状況を表示し、各通信ユニット70は、ファンフィルタユニット80に設けられた運転監視用の端子と信号ケーブル92を介して接続される複数の端子を有し、監視盤60から運転監視用の信号を受信すると、その通信ユニット70に接続されている複数のファンフィルタユニット80の運転状況を順次検知して運転状況を示す信号を通信ケーブル90を介して監視盤60に順次送信する。
請求項（抜粋）：
クリーンルームの天井に配置された複数のファンフィルタユニットの運転状況を監視するクリーンルーム用ファンフィルタユニットの運転監視装置において、各ファンフィルタユニットの運転状況を表示する表示手段を有する監視手段と、該監視手段と通信ケーブルを介して順次直列に接続される複数の通信ユニットとからなり、前記監視手段は、運転監視用の信号を前記通信ケーブル及び通信ユニットを介して送信するとともに、該通信ケーブル及び通信ユニットを介して順次受信する各ファンフィルタユニットの運転状況を示す信号に基づいて表示手段に各ファンフィルタユニットの運転状況を表示し、各通信ユニットは、ファンフィルタユニットに設けられた運転監視用の端子と信号ケーブルを介して接続される複数の端子を有し、前記監視手段から運転監視用の信号を受信すると、該通信ユニットに接続されている複数のファンフィルタユニットの運転状況を順次検知して運転状況を示す信号を通信ケーブルを介して前記監視手段に順次送信することを特徴とするクリーンルーム用ファンフィルタユニットの運転監視装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B01D 46/42 Z
, F24F 7/06 C
