特許
J-GLOBAL ID：200903083535384990
変位測定方法ならびに変位測定装置および変位測定用ターゲット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-337861
公開番号（公開出願番号）：特開2008-157955
出願日： 2007年11月28日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：
【課題】 変位測定対象物の被測定点の2次元または3次元の変位を、変位測定用ターゲットと1台のPSDカメラを介して、前記変位測定対象物から離れた測定地点から、容易且つ正確に測定する。【解決手段】 平板片状の基板上に2個または4個の光源を所定間隔を保って固定した変位測定用タ-ゲットを、変位測定対象物の被測定点に付着し、その各光源からの光をPSDカメラのPSD受光面上に集束投射させることによって得られる各光源の位置に対応する位置検知電圧から、変位測定対象物上におけるX方向・Y方向間隔とその間隔に対応する間隔検知電圧の関係を表わす変位補正係数Kx,Kyを把握し、その上で、変位測定対象物の変位に伴う前記変位測定用タ-ゲットの光源の変位を、上記PSD受光面で検知してその光源の位置検知電圧を出力させ、その位置検知電圧と前記変位補正係数kx,kyを基に、変位測定対象物の被測定点の2次元または3次元の変位量を演算して測定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
直交X-Y座標軸のX方向間隔とY方向間隔がそれぞれ所定X方向間隔Sxと所定Y方向間隔Syに保たれた2個の光源が平板片状の基板上に配置固定されている変位測定用タ-ゲットを、変位測定対象物の被測定点に付着し、前記2個の各光源の点灯を切り替えて前記各光源からの光をPSDカメラのレンズを通して前記PSDカメラのPSD受光面上に集束投射することにより、前記2個の各光源のPSD受光面上の位置にそれぞれ対応したX方向位置検知電圧とY方向位置検知電圧を出力させ、前記X方向位置検知電圧ならびに前記Y方向位置検知電圧と前記所定X方向間隔Sxならびに前記所定Y方向間隔Syに基づいて、前記所定X方向間隔Sxに対応した所定X方向間隔検知電圧Vsxに対する前記所定X方向間隔Sxの比率すなわちX方向変位補正係数Kxと、前記所定Y方向間隔Syに対応した所定Y方向間隔検知電圧Vsyに対する前記所定Y方向間隔Syの比率すなわちY方向変位補正係数Kyを算出して把握し、その上で、前記変位測定対象物上の前記2個の光源の変位前初期時点t0おけるX方向位置検知電圧ならびにY方向位置検知電圧と、前記2個の光源の変位後時点t1におけるX方向位置検知電圧ならびにY方向位置検知電圧を計測し、これら2個の各光源の変位前初期時点t0におけるX方向位置検知電圧ならびにY方向位置検知電圧と、変位後時点t1におけるX方向位置検知電圧ならびにY方向位置検知電圧と、前記X方向変位補正係数Kxならびに前記Y方向変位補正係数Kyを基に、前記変位測定対象物の被測定点の2次元の変位量を演算し測定することを特徴とする変位測定方法。
IPC (3件)：
G01C 15/00
, G01B 11/00
, G01C 15/06
G01C15/00 103Z
, G01B11/00 A
, G01C15/00 104Z
, G01C15/06 Z
2F065AA03
, 2F065AA04
, 2F065AA07
, 2F065AA09
, 2F065AA19
, 2F065AA31
, 2F065BB29
, 2F065GG07
, 2F065GG13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ16
