特許

J-GLOBAL ID：200903083586651364

インジウム・スズ酸化物膜用焼結体およびその製造方法

発明者： 福島 英子 ,  山田 信行 ,  菊池 広実
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
代理人 (1件)： 大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-338555
公開番号（公開出願番号）：特開平8-176811
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年07月09日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、密度が95%以上と高く、かつ均一な密度分布を有するインジウム・スズ酸化物膜用焼結体およびその製造方法を提供する。【構成】 酸化インジウム・酸化スズ粉末を成形し、予備焼結して密度を80%以上とした後、得られた予備焼結体を粒成長を伴うHIP処理を行うことにより、均一な密度分布を有する酸化インジウム・酸化スズ焼結体を得る。

請求項（抜粋）：

酸化インジウム・酸化スズ粉末を成形し、予備焼結して密度を80%以上とした後、得られた予備焼結体を粒成長を伴うHIP処理を行うことを特徴とするインジウム・スズ酸化物膜用焼結体の製造方法。

IPC (2件)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-160104
  
• 特開昭62-182203
  
• 特開昭62-222004
  
• 酸化インジウム-酸化錫スパッタリングターゲットの製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-181850   出願人：三菱マテリアル株式会社