特許
J-GLOBAL ID：200903083613205657

積載装置のワーク受け

発明者：
長野 由亀雄

長野 由亀雄 について

, 
天岸 伸夫

天岸 伸夫 について


出願人/特許権者：
タバイエスペック株式会社

タバイエスペック株式会社 について


代理人 (1件)： 景山 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-323576
公開番号（公開出願番号）：特開2002-130959
出願日： 2000年10月24日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：
【要約】【課題】 ワーク受け部の清掃や交換作業を容易にする共に、高温熱処理時のワークのキズ付きを防止する。【解決手段】 ワーク受けは、ワークWを多段に積載するカセット1の一部分を構成し、丸軸2、その支持部材3、等を有する。丸軸2は、Y方向に長尺状に本例では1本に形成されていて、X方向の両側に設けられている。支持部材3は、カセット1の両側各4本の支柱13に取り付けられていて、丸軸2を4箇所で支持している。【効果】 ワーク受けの清掃や交換時には、丸軸2を支持部材3から容易に着脱でき、カセットの外部で簡単に速く且つ十分に清掃できる。交換も容易である。又、ワークを長尺状に連続して受けるので、ワークの支持面圧が小さく、高温処理や振動環境下でもワークにキズができない。
請求項（抜粋）：
熱処理される液晶ガラス基板から成る平板状のワークを多段に載せる積載装置のワーク受けにおいて、前記ワークを載せるときにワークの進む方向に直角の方向であるワーク幅方向の両側に設けられていて前記進む方向に長尺状に形成された受け部材と、該受け部材を少なくとも2箇所で支持するように前記積載装置に設けられた支持部材と、を有することを特徴とするワーク受け。
IPC (3件)：
F27D 3/12 ,  F27D 5/00 ,  H01L 21/68
FI (3件)：
F27D 3/12 Z ,  F27D 5/00 ,  H01L 21/68 N
Fターム (12件)：
4K055AA06 ,  4K055HA01 ,  4K055HA15 ,  4K055HA27 ,  5F031CA05 ,  5F031HA08 ,  5F031HA42 ,  5F031HA62 ,  5F031HA64 ,  5F031HA65 ,  5F031MA30 ,  5F031PA24
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 物品熱処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-144095   出願人：タバイエスペック株式会社
審査官引用 (1件)
  • 物品熱処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-144095   出願人：タバイエスペック株式会社

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