改良された電極支持部を備えた容量型圧力変換器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-512263
公開番号（公開出願番号）：特表2003-505688
出願日： 2000年07月14日
公開日（公表日）： 2003年02月12日
要約：

【要約】【課題】熱、もしくは温度の安定性、もしくは反応のための1より大きい横断幅に対する厚さの比を有し、環状の溝内に固定されている。前記本体部(240)は、ステンレススチール製、もしくはインコネル製できている。前記絶縁体(130)は、アルミナもしくはフォスタライトなどのセラミックス製である。前記本体部(240)と前記絶縁体(130)の温度膨張係数は、適切に選択される。前記リング(274)の機能は、徹底的に解明される。

請求項（抜粋）：

(A)内部キャビティを形成した本体部と、 (B)この本体部内に設けられ、前記内部キャビティを第1のチャンバと第2のチャンバとに分割し、前記第2のチャンバ内の圧力より高くなった前記第1のチャンバ内の圧力に反応して第1の方向に動き、前記ダイアフラムの一領域は、前記第1のチャンバ内の圧力より高くなった前記第2のチャンバ内の圧力に反応して前記第1の方向と反対の第2の方向に動く領域を有するダイアフラムと、 (C)前記第1のチャンバ内に配置された絶縁部材と、 (D)この絶縁部材に配置されたコンダクタであって、このコンダクタと前記ダイアフラムは、容量によって特徴づけられ、この容量は、前記第1のチャンバ内の圧力と前記第2のチャンバ内の圧力との間の差を表しているコンダクタと、 (E)前記第1のチャンバ内に配置され、前記ダイアフラムの方へ前記絶縁部材を偏らせる力を発生する圧縮部材と、 (F)前記ダイアフラムの一部分と前記絶縁部材の一部分との間に配置され、前記ダイアフラムの方への前記絶縁部材の動きに抗し、また、所定の厚さと所定の横断幅とによって特徴づけられ、この横断幅に対する前記厚さの比が1より大きい支持部材とを具備する圧力変換器アッセンブリ。

Fターム (9件)：

2F055AA40 , 2F055BB05 , 2F055CC02 , 2F055DD01 , 2F055DD09 , 2F055EE25 , 2F055FF01 , 2F055FF43 , 2F055GG25

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭54-076192
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-353075 出願人：ミヨタ株式会社
特開平1-201103

審査官引用 (5件)

特開昭54-076192
特開昭54-076192
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-353075 出願人：ミヨタ株式会社

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