特許

J-GLOBAL ID：200903083678438004

位置決め機構、保持装置、半導体ウエハの移替え装置および位置合わせ装置

発明者： 岩本 禎雄
出願人/特許権者： 株式会社ハーモテック
代理人 (1件)： 川▲崎▼ 研二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-133802
公開番号（公開出願番号）：特開平11-330205
出願日： 1998年05月15日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：

【要約】【課題】 二つの物体を等距離だけ互いに接近させたり離したりする位置決め機構において、部品数を少なくし、構造を簡単にし、エネルギ消費を少なくし、物体の移動を高速化する。【解決手段】 位置決め機構10のプーリ2,3に巻回された無端走行体1において、プーリ2,3を挟んだ一方の直線状部分と他方の直線状部分に二つのスライダ5,6が固定されている。スライダ5,6は、ともに単一の共通ガイド7に沿って摺動可能である。プーリ2に直結された回転駆動体4を回転させることにより、無端走行体1がプーリ2,3の周りを走行し、スライダ5,6が等しい距離だけ移動し、互いに接近するか離れるかする。

請求項（抜粋）：

少なくとも二つの回転体と、上記回転体に巻回された無端走行体と、上記回転体に連結され、これを回転させることにより、上記無端走行体が上記回転体の周りを走行するようにした駆動手段と、上記無端走行体の上記回転体を挟んだ一方の直線状部分と他方の直線状部分にそれぞれ固定された二つのスライダと、上記二つのスライダがともに摺動可能な単一の共通ガイドとを備えることを特徴とする位置決め機構。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/06 ,  B65G 43/00

FI (6件)：

H01L 21/68 G ,  H01L 21/68 D ,  H01L 21/68 M ,  H01L 21/68 N ,  B25J 15/06 M ,  B65G 43/00 F

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-311139   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
• 特開平4-014237