特許

J-GLOBAL ID：200903083679604153

表面検査方法及び装置

発明者： 伊藤 進
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-047885
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239830
出願日： 1997年03月03日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】 表面検査方法及び装置に関し、ペリクルの膜及びその他の膜状部材の膨らみやシワ等の表面状態の異常を検査できるようにすることを目的とする。【解決手段】 平坦な板状部材1の上方に平坦な膜状部材5が配置された該膜状部材の上方に検査基準部材7を配置する工程と、該膜状部材5の表面6で反射した該検査基準部材7の第1の反射像9と該膜状部材5を透過して該板状部材1の表面3で反射した該検査基準部材7の第2の反射像10とを比較する工程を含む構成とする。

請求項（抜粋）：

平坦な板状部材の上方に平坦な膜状部材が配置された該膜状部材の上方に検査基準部材を配置する工程と、該膜状部材の表面で反射した該検査基準部材の第1の反射像と該膜状部材を透過して該板状部材の表面で反射した該検査基準部材の第2の反射像とを比較する工程を含むことを特徴とする表面検査方法。

IPC (4件)：

G03F 1/14 ,  G01B 11/16 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G03F 1/14 J ,  G01B 11/16 Z ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/30 502 V

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭49-098659
  
• 表面状態検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-263065   出願人：キヤノン株式会社
• 特開昭56-093003