レ-ザ光線安定化方法及び装置とその装置を備えたレ-ザシステム

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：奥山尚男 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-274023
公開番号（公開出願番号）：特開2000-114636
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】レーザ出力光線を最適化し、制御し、かつ安定化させるためのレーザ光線安定化装置を提供する。【解決手段】レーザ10の出力光線21の角ポジションと横ポジションを自動的に調整することによって、レーザ出力光線21の特性が安定化される。出力光線21の一つの成分がその成分の光路に沿った遠視野位置において検出され、また同じく近視野位置においても検出される。出力光線21の特性と共に、その角ポジションと横ポジションの両方が、近視野位置と遠視野位置の両方において検出された後に決定される。出力光線の角ポジションと横ポジションの両方が、その出力光線を最適化するよう自動機に調節される。角ポジションと横ポジションの両方の調整は、好ましくは二つのミラーを含む光線操舵デバイス200を使用することによって可能となる。

請求項（抜粋）：

レーザの出力光線の横ポジション及び角方向を検出かつ調整するための装置であって、前記レーザ光線の光路に沿った近視野位置と遠視野位置において前記レーザ光線を感知するための少なくとも一つの検出器と、前記近視野位置における測定に基づいて前記レーザ光線の横ポジションを決定し、前記遠視野位置における測定に基づいて前記レーザ光線の角方向を決定するためのプロセッサと、前記レーザ光線の前記角方向と前記横ポジションとを所定のポジションに調整するための手段と、をそれぞれ備えたことを特徴とするレーザ光線安定化装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

照明装置および該装置を備えた投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-120862 出願人：株式会社ニコン
特開平2-196928
特開昭59-148379

全件表示

前のページに戻る