照明装置および該装置を備えた投影露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-120862
公開番号（公開出願番号）：特開平8-293461
出願日： 1995年04月21日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】光源位置の微調整なしに、照明光束の傾きや位置ずれを高精度に補正できる照明装置を提供する。【構成】光源1から出た矩形状の平行光束がミラー2で反射後、設計光軸AXに平行になるよう光軸に対する傾きを検出し、ミラーの直交面内でそれぞれ回転駆動により光束の傾きを補正する。次に反射光束が直交面内でそれぞれ回転駆動する平行平面板3に入射すると、光束は光軸AXに対し平行移動して位置ずれが補正される。その後シリンダエクスパンダ4に入射した光束は紙面内で拡大され、ほヾ正方形の断面をもつ光束に整形され、ハーフミラー5による反射光は第2ハーフミラー6に入射し、その反射光は集光レンズ8により4分割センサ9上に結像する。センサ9の対角領域の差分身号をとれば光束の傾きを検出でき、その出力は制御系11に入力される。また透過光は他の4分割センサ7に結像し光束の位置ずれを検出でき、出力も制御系に入力される。

請求項（抜粋）：

平行光束を供給するための光供給手段と、前記光供給手段からの平行光束をほぼ正方形またはほぼ円形の断面を有する平行光束に整形するための光束整形手段と、前記ほぼ正方形またはほぼ円形の断面を有する平行光束に基づいて、前記光供給手段からの平行光束の所定の光軸に対する位置ずれを検出するための位置ずれ検出手段と、前記位置ずれを補正するために、前記位置ずれ検出手段の出力に基づき前記平行光束を前記所定の光軸に対して平行移動させるための光束平行移動手段と、を備えていることを特徴とする照明装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 , G02B 26/10 , G02B 27/00 , G03F 7/20 505 , G03F 7/20 521 , H01S 3/101

FI (8件)：

H01L 21/30 515 B , G02B 26/10 D , G03F 7/20 505 , G03F 7/20 521 , H01S 3/101 , G02B 27/00 V , H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 527

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平1-161833
特開平1-147516
照明装置及び該照明装置を用いた露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-073969 出願人：株式会社ニコン

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