特許

J-GLOBAL ID：200903083783659016

垂直型プローブカード及びそれに用いられるプローブ

発明者： 大久保 昌男 ,  大久保 和正 ,  大久保 浩正 ,  岩田 浩
出願人/特許権者： 日本電子材料株式会社
代理人 (1件)： 大西 孝治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-227372
公開番号（公開出願番号）：特開平9-054115
出願日： 1995年08月10日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 従来の有利な点を保有しつつ、プローブの長さを短くでき、隣接するプローブ同士が接触しないようにする。【解決手段】 本プローブカードは、電極パッドに接触するプローブ100と、プローブを垂直方向にのみ移動可能に支持する支持部200と、弾性体410によってプローブ100の後端接続部120と電気的に接続する導電パターン310を有する基板300を備え、プローブ100は支持部200の貫通孔210A、221A、222Aに挿入され、プローブ100の接続部120は貫通孔210Aより大きくし、弾性体410は、プローブ100の配置に対応して基板300の下面側に取り付けられ、弾性体410とプローブ100の接続部120は、プローブ100に力が加えられていない状態では電気的に接続されておらず、垂直上向きの力が加えられると電気的に接続され、弾性体がプローブ100に対して垂直下向きの力を加えるように構成される。

請求項（抜粋）：

測定対象物の電気的諸特性を測定するプローブカードにおいて、先端の接触部が測定対象物の電極パッドに接触するプローブと、このプローブを垂直方向にのみ移動可能に支持する支持部と、導電性を有する弾性体によって前記プローブの後端の接続部と電気的に接続される導電パターンを有する基板とを具備しており、前記プローブは支持部に開設された貫通孔に挿入されており、プローブの接続部は前記貫通孔より大きく設定されており、前記弾性体は、プローブの配置に対応して前記基板の下面側に取り付けられており、弾性体とプローブの接続部とは、プローブに力が加えられていない状態では電気的に接続されておらず、プローブに垂直上向きの力が加えられると電気的に接続され、かつ前記弾性体がプローブに対して垂直下向きの力を加えることを特徴とする垂直型プローブカード。

IPC (2件)：

G01R 1/073 ,  G01R 1/06

FI (2件)：

G01R 1/073 E ,  G01R 1/06 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-171531   出願人：日本電気株式会社
• 特開昭51-078990