レーザ加工装置の非点収差低減方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-295324
公開番号（公開出願番号）：特開平7-144291
出願日： 1993年11月25日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：

【要約】【目的】曲面鏡に起因する非点収差を低減したレーザ加工装置を得ること。【構成】複数個の曲面鏡を含み、レーザ光の径を拡大するビーム拡大手段120,122と、レーザ光を集光する集光手段124とを備え、支持台上に支持された被加工物100に対しレーザ光を2次元あるいは3次元に走査しつつ照射することによって被加工物を加工するレーザ加工装置の非点収差低減方法において、前記ビーム拡大手段120,122にて拡大された後のレーザビームの非点収差が最小となるよう、前記曲面鏡の法線とレーザ光軸とのなす入射角度e1を曲面鏡ごとに選定する。

請求項（抜粋）：

複数個の曲面鏡を含み、レーザ光の径を拡大するビーム拡大手段と、レーザ光を集光する集光手段とを備え、支持台上に支持された被加工物に対しレーザ光を2次元あるいは3次元に走査しつつ照射することによって被加工物を加工するレーザ加工装置の非点収差低減方法において、前記ビーム拡大手段にて拡大された後のレーザビームの非点収差が最小となるよう、前記曲面鏡の法線とレーザ光軸とのなす入射角度を曲面鏡ごとに選定することを特徴とするレーザ加工装置の非点収差低減方法。

IPC (4件)：

B23K 26/08 , B23K 26/06 , G02B 17/00 , G02B 27/00

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-301613
特開昭63-252688
特開昭63-121812

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