ブラックマトリクス付マイクロレンズ基板の製造方法、液晶パネル用対向基板、液晶パネルおよび投射型表示装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-041682
公開番号（公開出願番号）：特開平11-344602
出願日： 1999年02月19日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：

【要約】【課題】マイクロレンズの光軸とブラックマトリクスの開口部とを高精度で一致させることができるブラックマトリクス付マイクロレンズ基板の製造方法を提供すること。【解決手段】まず、マイクロレンズ101が形成された基板100のマイクロレンズ101が形成された面と反対側の面に、ネガレジストで構成されたネガ型レジスト層130を形成する。次に、ネガ型レジスト層130と反対側から光140を照射し、感光部131を形成する。次に、基板100のネガ型レジスト層130を形成した面に、ブラックマトリクス102となるべき遮光膜132を形成する。次に、感光部131を除去すると、開口104が形成されたブラックマトリクス102が形成される。

請求項（抜粋）：

透明基板に形成された多数のマイクロレンズに対応する開口を有するブラックマトリクスを、フォトリソグラフィー法により形成するブラックマトリクス付マイクロレンズ基板の製造方法であって、前記ブラックマトリクスを形成するにあたり、前記マイクロレンズを光学系として用いて露光を行うことを特徴とするブラックマトリクス付マイクロレンズ基板の製造方法。

IPC (3件)：

G02B 3/00 , G02B 5/00 , B29D 11/00

FI (3件)：

G02B 3/00 A , G02B 5/00 B , B29D 11/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

セルフパターニング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-196231 出願人：日本板硝子株式会社
特開昭50-010134
特開平4-240617

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