磁気ディスクおよび磁気ディスク装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富田和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-107968
公開番号（公開出願番号）：特開平5-303735
出願日： 1992年04月27日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：

【要約】【目的】浮上高さが小さく、高密度記録に対応可能な磁気ディスク、磁気記録装置を提供することを目的とする。【構成】表面粗さが小さく(1nmRmax以下)、且つ、平面度が高い(1μm以下)の磁気ディスク用の基板を使用する。このような基板を得るためには、位置ずれセンサ13により上定盤4の位置ずれ量を監視することにより、基板3の弾性変形量を一定の範囲に留めつつ両面研削を行なう。これにより基板3の反りを除去し平面度を高める。また、動圧発生面を有する上下定盤4,5の間に基板3を設置し、それぞれの定盤4,5と基板3との間に介在する研磨剤の動圧効果により、基板3を定盤4,5と非接触の状態で両面研磨し表面粗さを小さくする。

請求項（抜粋）：