特許

J-GLOBAL ID：200903083853358639

2次イオン質量分析装置用試料ホルダ及びその位置調整方法

発明者： 児玉 紀行 ,  峰地 輝
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-367488
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183317
出願日： 1999年12月24日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】表面プレートの撓みを防止するとともに、各試料の傾斜角度差を精度よくかつ迅速に測定できる2次イオン質量分析装置用試料ホルダ及びその測定方法を提供すること。【解決手段】2次イオン質量分析装置に使用される2次イオン質量分析装置用試料ホルダにおいて、所定位置に所定数の窓部を有する表面板と、前記表面板の裏面における前記窓部の周囲の面に試料を押し付けて前記表面板に試料を当接保持する押圧部材と、前記表面板の裏面に配設されるとともに前記表面板の撓みを防止する梁部を有する本体と、を備え、前記梁部ないし台の一部は、前記窓部から露出することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

2次イオン質量分析装置に使用される2次イオン質量分析装置用試料ホルダにおいて、所定位置に所定数の窓部を有する表面板と、前記表面板の裏面における前記窓部の周囲の面に試料を押し付けて前記表面板に試料を当接保持する押圧部材と、前記表面板の裏面に配設されるとともに前記表面板の撓みを防止する梁部を有する本体と、を備え、前記表面板の裏面における前記窓部の周囲の面は、前記梁部に近い位置に存在するとともに、前記窓部の周囲の裏面側のエッジから前記梁部までの幅が狭いことを特徴とする2次イオン質量分析装置用試料ホルダ。

IPC (4件)：

G01N 23/225 ,  G01N 27/62 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/252

FI (4件)：

G01N 23/225 ,  G01N 27/62 F ,  H01J 37/20 A ,  H01J 37/252 B

Fターム (18件)：

2G001AA05 ,  2G001AA07 ,  2G001BA06 ,  2G001CA05 ,  2G001GA08 ,  2G001GA13 ,  2G001JA08 ,  2G001KA01 ,  2G001PA11 ,  2G001PA12 ,  2G001QA02 ,  2G001QA10 ,  2G001RA01 ,  5C001AA01 ,  5C001AA03 ,  5C001AA04 ,  5C001CC05 ,  5C033QQ05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 二次イオン質量分析装置用試料ホルダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-076099   出願人：日本電気株式会社
• 特開平4-106851
  
• 特開平4-328442