特許

J-GLOBAL ID：200903083860534523

成膜方法、有機EL素子及びその製造方法

発明者： 針井 哲夫 ,  伊丹 哲 ,  大西 良孝 ,  安達 千波矢
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (2件)： 高橋 敬四郎 ,  来山 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-196616
公開番号（公開出願番号）：特開2005-032563
出願日： 2003年07月14日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：

【課題】発光特性の良好な有機EL素子を提供する。【解決手段】基板上に第1の電極を形成する。第1の電極上に、少なくとも有機発光層とその上方に形成される、1族または2族の材料、またはそれらを含む合金もしくは化合物を含んで構成される厚さ10nm以下の層とを含む積層を形成する。厚さ10nm以下の層上に、光透過性の保護層を形成する。保護層上に酸化物を含む透明導電層である第2の電極を形成する。第2の電極を形成する工程において、保護層が厚さ10nm以下の層の劣化を軽減する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

1族または2族の材料、またはそれらを含む合金もしくは化合物を含んで構成される厚さ10nm以下の膜上に保護膜を形成する工程と、 前記保護膜上に酸化物を含む膜を形成する工程と を有し、 前記酸化物を含む膜を形成する工程において、前記保護膜が前記厚さ10nm以下の膜の劣化を軽減する成膜方法。

IPC (4件)：

H05B33/22 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 ,  H05B33/28

FI (4件)：

H05B33/22 A ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/28

Fターム (4件)：

3K007AB11 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法と表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-265763   出願人：ソニー株式会社