特許

J-GLOBAL ID：200903083879024488

把持具と保持具のずれ測定装置及び位置合わせ方法、ずれ測定用治具、把持具と保持具のずれ診断方法、及び、洗浄装置と洗浄方法

発明者： 上川 裕二
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン九州株式会社
代理人 (1件)： 萩原 康司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-197231
公開番号（公開出願番号）：特開平8-046009
出願日： 1994年07月29日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】 簡単な装置構成によって把持具と保持具のずれを測定、診断でき、両者の相対的な位置合わせを行える手段を提供する。【構成】 把持具に把持具側治具を装着すると共に保持具に保持具側治具を装着し、距離センサと基準面を用いてそれら把持具側治具と保持具側治具の距離を測定する。こうして得られた各測定値に基づいて、把持具と保持具との間で被処理体を受け渡す際の該把持具と保持具の相対的なずれを測定する。

請求項（抜粋）：

把持具と保持具との間で被処理体を受け渡す際の該把持具と保持具の相対的なずれを測定するための装置であって、把持具に脱着自在に装着される把持具側治具と、保持具に脱着自在に装着される保持具側治具を備え、それら把持具側治具と保持具側治具の間の距離を測定する測定手段を設けてなる把持具と保持具のずれ測定装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B25J 13/08 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/304 341

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 位置調整用測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-107536   出願人：株式会社カイジョー