有機材料薄膜の形成方法及びその装置、並びに有機電界発光素子の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：逢坂宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-039408
公開番号（公開出願番号）：特開2002-246175
出願日： 2001年02月16日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
要約：

【要約】【課題】加熱によって生じる現象の異なる複数の材料を用い、材料ごとに良好な薄膜の形成ができる、有機材料薄膜の形成方法及びその装置、並びに有機電界発光素子の製造方法を提供すること。【解決手段】有機材料の性質に応じて、加熱による融解後に蒸発する融解型の材料には、開口部27が材料の収容面積と同じか又はそれ以上で、かつ蒸気の飛翔角度が90度以上となる開口部オープンタイプ蒸着ボート28、加熱により即蒸発する昇華型の材料には、開口部32が材料の収容面積よりも小さい開口部制限タイプの蒸着ボート30を同一の真空蒸着装置内に配置し、蒸着材料の性質に応じていずれかの蒸着ボートを選択して成膜する。これにより、融解型の材料は効率良く、しかも蒸着速度を制御して成膜でき、また、昇華型の材料は昇華量及びその速度を制御して、いずれも所望の成膜を行うことができ、この方法を適用して膜厚にばらつきが少なく、表示品位の優れた有機EL素子を製造することができる。

請求項（抜粋）：

加熱による融解後に蒸発する第1の有機材料と、加熱により昇華する第2の有機材料との少なくとも一方を蒸着することによって、有機材料薄膜を形成する方法であって、前記有機材料の収容面積と同じか又はそれ以上の大きさの第1の開口部を有し、かつこの開口部からの前記有機材料の蒸気の飛翔角度が90度以上をなす第1の容器と、前記有機材料の収容面積よりも小さい第2の開口部を有する第2の容器とを、前記第1及び第2の有機材料に応じて選択する、有機材料薄膜の形成方法。

IPC (5件)：

H05B 33/10 , C23C 14/12 , C23C 14/24 , H05B 33/14 , H05B 33/22

FI (6件)：

H05B 33/10 , C23C 14/12 , C23C 14/24 C , H05B 33/14 A , H05B 33/22 D , H05B 33/22 B

Fターム (19件)：

3K007AB02 , 3K007AB04 , 3K007AB18 , 3K007CA01 , 3K007CB01 , 3K007DA01 , 3K007DB03 , 3K007EB00 , 3K007FA01 , 4K029BA62 , 4K029BC07 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029DB06 , 4K029DB12 , 4K029DB13 , 4K029DB14 , 4K029DB17 , 4K029DB18

引用特許：

審査官引用 (9件)

有機電界発光素子の製造方法と製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-050800 出願人：日本電気株式会社
特開昭63-293157
特開昭55-125269

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