特許

J-GLOBAL ID：200903083909653175

粒状材料を製造するための方法およびシステムならびに粒状材料中の粉塵成分を減少させるためおよび測定するための方法およびシステム

発明者： ジョン・ディ・ホルダー ,  ハリプラサド・スリードハラマーシー ,  ジョン・ディ・ヒルカー
出願人/特許権者： エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド
代理人 (2件)： 鮫島 睦 ,  田村 恭生
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-516496
公開番号（公開出願番号）：特表2008-503423
出願日： 2005年05月11日
公開日（公表日）： 2008年02月07日
要約：

この発明は、粒状多結晶シリコンを製造する方法、および粒状多結晶シリコンの供給物に関する。この発明は、また、粒状多結晶シリコン中の粉塵成分を測定することおよび除去することの方法および装置にも関する。1つの要旨において、システムは、多結晶シリコンから粉塵成分を吸引するための減圧ポートを有している。この発明のもう1つのシステムは、多結晶シリコンの流れを受容するためのバッフル・チューブを有している。測定システムは、多結晶シリコンの流れから粉塵成分を分離しおよび計量するためのマニホールドおよびフィルターを有している。

請求項（抜粋）：

流動床プロセスにおいて化学気相蒸着によって粒状多結晶シリコンを形成する工程; 前記粒状多結晶シリコンを寸法によって分級する工程; 前記粒状多結晶シリコン中の粉塵成分が、多結晶シリコン100kgあたり3mg未満の質量を有するように、前記粒状多結晶シリコンから粉塵成分を除去する工程; 粉塵成分を除去した後で、粒状多結晶シリコンをパッケージングする工程 を含んでなる、粒状多結晶シリコンを連続的に製造する方法。

IPC (2件)：

C01B 33/029 ,  C01B 33/02

FI (2件)：

C01B33/029 ,  C01B33/02 E

Fターム (16件)：

4G072AA01 ,  4G072BB05 ,  4G072BB12 ,  4G072GG01 ,  4G072LL01 ,  4G072MM01 ,  4G072MM08 ,  4G072MM28 ,  4G072NN01 ,  4G072NN13 ,  4G072QQ20 ,  4G072RR01 ,  4G072RR11 ,  4G072TT19 ,  4G072UU01 ,  4G072UU02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 廃棄物溶融炉への可燃性ダスト吹き込み方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-300494   出願人：新日本製鐵株式会社
• 特開平2-153814
  
• 特開平2-153814