特許
J-GLOBAL ID：200903083911667531
ワイヤソーのスラリー管理システム及びスラリー管理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-262867
公開番号（公開出願番号）：特開平9-168971
出願日： 1996年10月03日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：
【要約】【課題】 ワイヤソーのスラリー管理システムにおいて、ワイヤソーより排出されたスラリー中の砥粒及び分散液を再使用できるようにする。【解決手段】 各ワイヤソーW1〜W4より排出された廃スラリーは、デカンタ6及びフィルタ7へと順に搬送される。デカンタ6では廃スラリーから砥粒が分離回収され、フィルタ7では切り粉等を分離して分散液が回収される。回収された砥粒及び分散液は調合槽2に搬送されて再分散され、スラリーが調合生成される。このとき、スラリー中の砥粒含有率が比重計S1及び粘度計S2により検出され、この検出結果に基づいて、砥粒と分散液との混合重量比が1:0.91から1:0.6の範囲内となるように、新しい砥粒及び分散液の供給量が調整される。調合生成されたスラリーは各ワイヤソーW1〜W4へ連続的に供給される。
請求項（抜粋）：
オイル系または水系の分散液に砥粒を分散してなるスラリーを、互いに平行に張設されたワイヤ群に供給し、被切削体を前記ワイヤ群に通過させることにより、多数のウェハを同時に得るようにしたワイヤソーのためのスラリー管理システムにおいて、前記ワイヤソーに供給するスラリーを調合するための調合手段を備え、その調合手段によって調合されるスラリー中における砥粒と分散液との混合重量比を、分散液がオイル系のものである場合には1:0.91から1:0.6の範囲内に設定し、分散液が水系のものである場合には1:0.76から1:0.5の範囲内に設定したワイヤソーのスラリー管理システム。
IPC (3件)：
B24B 57/00
, B24B 27/06
, B28D 5/04
B24B 57/00
, B24B 27/06 D
, B28D 5/04 C
