特許

J-GLOBAL ID：200903083944426157

軟X線多層膜反射鏡

発明者： 江藤 和幸
出願人/特許権者： 日本航空電子工業株式会社
代理人 (1件)： 草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-140381
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005795
出願日： 1994年06月22日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】 軟X線波長領域における反射率を増加させる。【構成】 軟X線多層膜反射鏡1は、軟X線に対する屈折率が高い第1の物質と、それより屈折率の低い第2の物質とが交互に積層される多層膜構造を有し、第1の物質より成る高屈折率層4の厚さと、第2の物質より成る低屈折率層5の厚さとが、それら両層の複数の境界でそれぞれ反射される軟X線がお互いに強めあうように設定される。この発明では、第1の物質としてフラーレン又はナノチューブ(分子)構造を有する炭素が選定される。その炭素分子として、比較的入手容易なC60,C70,C76又はC84を用いるのが望ましい。また第2の物質として例えば、従来のニッケルを用いることができる。

請求項（抜粋）：

軟X線に対する屈折率が高い第1の物質と、それより屈折率の低い第2の物質とが交互に積層される多層膜構造を有し、前記第1の物質より成る高屈折率層の厚さと、前記第2の物資より成る低屈折率層の厚さとが、それら両層の複数の境界でそれぞれ反射される軟X線がお互いに強めあうように設定されている軟X線多層膜反射鏡において、前記第1の物質が炭素のフラーレン分子構造を有することを特徴とする軟X線多層膜反射鏡。

IPC (2件)：

G21K 1/06 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 531 Z ,  H01L 21/30 531 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

• X線反射鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-015248   出願人：日本電信電話株式会社