特許

J-GLOBAL ID：200903083959553996

フォトマスク保持装置

発明者： 米澤 良
出願人/特許権者： レーザーテック株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-164085
公開番号（公開出願番号）：特開平10-010704
出願日： 1996年06月25日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】 フォトマスクをフォトマスクホルダに対してローディングしたりアンローディングする際の作業性を改善したフォトマスク保持装置を提供する。【解決手段】 水平な定盤11上に基準枠13を垂直に取り付け、フォトマスクを支持するフォトマスクホルダ17を不等長リンク機構18, 19を介して連結し、フォトマスクホルダを基準枠と平行な第1の位置と、基準枠に対して傾斜するとともに第1の位置に対して水平方向にシフトした第2の位置との間を回動できるように構成する。フォトマスクホルダが第2の傾斜位置にあるときは、その上にフォトマスクを乗せて手を放してもフォトマスクが落下することはなく、作業性が良好となる。

請求項（抜粋）：

水平に設置された定盤上に垂直に設置された基準枠に不等長リンク機構を介してフォトマスクホルダを、前記基準枠と平行となってこれと一体となる第1の位置と、下部が上部よりも基準枠から遠ざかり、フォトマスクをフォトマスクホルダ上に載置できる程度に傾斜した状態となり、さらに前記第1の位置に対して水平方向にシフトした第2の位置との間を移動可能に取り付けたことを特徴とするフォトマスク保持装置。

IPC (2件)：

G03F 1/14 ,  G03F 1/08

FI (2件)：

G03F 1/14 M ,  G03F 1/08 S

引用特許：

出願人引用 (2件)

• マスク外観検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-273261   出願人：宮崎沖電気株式会社, 沖電気工業株式会社
• 特開平3-003400