特許

J-GLOBAL ID：200903083994210040

回転角速度センサ

発明者： マルクス ルッツ
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (2件)： 矢野 敏雄 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-317753
公開番号（公開出願番号）：特開2007-101553
出願日： 2006年11月24日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：

【課題】振動質量体の表面に対して平行に作用するコリオリ力が測定可能であるような回転角速度センサを提供する。【解決手段】複数のウエブ4によってフレーム3に懸吊されている振動質量体1を有した第1の振動機構を備えており、前記複数のウエブはフレームの平面に対して平行な第1の方向で大きな長さを有しており、振動機構は、フレームの平面に対して平行でウエブの前記第1の方向に対して垂直な第2の方向で振動するように励起可能であって、振動機構が加速度センサ2を有している回転角速度センサにおいて、加速度センサが、ウエブの前記第1の方向での加速を知らせるために形成されていて、第2の加速度センサを備えた第2の振動機構がフレーム3に懸吊されており、第1の振動機構および第2の振動機構が少なくとも1つの別のウェブ13,14を介して、2つの振動機構が逆相に振動するように互いに連結されている。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

1つの平面を有するフレーム(3)を備えた回転角速度センサであって、複数のウエブ(4)によってフレーム(3)に懸吊されている少なくとも1つの振動質量体(1)を有した第1の振動機構を備えており、前記複数のウエブ(4)は前記フレーム(3)の平面に対して平行な第1の方向で大きな長さを有しており、前記複数のウエブ(4)は前記長さの方向で互いに平行に配置されており、振動機構は駆動手段(5)によって、フレーム(3)の平面に対して平行でウエブの前記長さの第1の方向に対して垂直な第2の方向で振動するように励起可能であって、振動機構が少なくとも1つの加速度センサ(2)を有している形式のものにおいて、 加速度センサ(2)が、ウエブ(4)の前記長さの第1の方向での加速を知らせるために形成されていて、第2の加速度センサ(2)を備えた第2の振動機構がフレーム(3)に懸吊されており、第1の振動機構および第2の振動機構が少なくとも1つの別のウェブ(13,14)を介して、2つの振動機構が逆相に振動するように、互いに連結されていることを特徴とする回転角速度センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L29/84 Z

Fターム (15件)：

2F105BB03 ,  2F105BB12 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112DA03 ,  4M112EA02 ,  4M112FA20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ドイツ連邦共和国特許出願公開第4032559号明細書
  

審査官引用 (3件)

• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-143148   出願人：株式会社村田製作所
• 特開平4-242114
  
• 多軸振動モノリシックジャイロスコープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-301707   出願人：モトローラ・インコーポレイテッド