特許

J-GLOBAL ID：200903083995998970

平面型光導波路アレイモジュールとその製造方法

発明者： 松岡 康信
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-142313
公開番号（公開出願番号）：特開2009-288614
出願日： 2008年05月30日
公開日（公表日）： 2009年12月10日
要約：

【課題】データ処理装置において、光素子アレイと光導波路アレイとの高精度且つ安定な光接続を満足するとともに簡便に作製可能な平面型光導波路アレイモジュールとその製造方法を提供すること。【解決手段】基板17上に、光素子アレイ15が載置され、光素子アレイ15と、アレイ外端に位置する光導波路チャンネル12に光路変換ミラー構造13を具備した光導波路アレイ26とが基板20上にて光学接続され、光素子アレイ15をバイアス25の印加により駆動した状態で、光導波路アレイ26を光素子アレイ15に接近し、光導波路アレイチャンネル11のそれぞれ両端に位置する光導波路チャンネル12から、光路変換ミラー13を介して出力される光信号24をモニタしながら光導波路アレイチャンネル11と光素子アレイ16との光軸調芯を行なったのち、光信号24の出力が所望の値となる位置で光導波路アレイ26を基板上に固定する。【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

クラッド層に囲まれて該クラッド層よりも屈折率の高い材料からなる配線コアから構成された少なくとも2つの光導波路チャネルを有する第1の光導波路チャネルと、並置された前記第1の光導波路チャネルの最外側の一方および他方にそれぞれ並置されてなる一対の光導波路チャンネルを有する第2の光導波路チャンネルとが自在に曲げることが可能な材料で構成されたフレキシブル基板上に設けられた光導波路アレイを準備する工程と、 少なくとも2つの光素子が並置されてなる第1の光素子アレイと、前記第1の光素子アレイの最外側の一方および他方のそれぞれに並置された一対の光素子からなる第2の光素子アレイとが光モジュール基板上に設けられた光素子アレイを準備する工程とを有し、 前記第2の光導波路チャンネルのそれぞれの光導波路チャンネルは、その光導波路内を伝播する光を前記光導波路の進行方向に対して垂直方向に光路変換する第1のミラー構造を具備し、 前記第1および第2の光素子アレイをバイアス印加により駆動した状態で、前記光導波路アレイを前記光素子アレイに接近させて、前記第2の光素子アレイから出力され前記第1のミラー構造で光路変換された出力信号、または前記第1のミラー構造で光路変換され前記第2の光導波路チャンネルから出力された出力信号をモニタしながら前記第2の光導波路チャンネルと前記第2の光素子アレイとの光軸調芯を行なったのち、前記出力信号が所望の値となる位置で前記光導波路アレイを前記光モジュール基板上に固定することを特徴とする平面型光導波路アレイ光モジュールの製造方法。

IPC (3件)：

G02B 6/122 ,  G02B 6/42 ,  G02B 6/13

FI (3件)：

G02B6/12 B ,  G02B6/42 ,  G02B6/12 M

Fターム (58件)：

2H137AA11 ,  2H137AB05 ,  2H137AB06 ,  2H137AB12 ,  2H137AC01 ,  2H137AC02 ,  2H137AC04 ,  2H137BA15 ,  2H137BA56 ,  2H137BB03 ,  2H137BB13 ,  2H137BB14 ,  2H137BB17 ,  2H137BB25 ,  2H137BB33 ,  2H137BC51 ,  2H137CA34 ,  2H137CA49 ,  2H137CA55 ,  2H137CA76 ,  2H137CB24 ,  2H137CB32 ,  2H137CB33 ,  2H137CC01 ,  2H137CC05 ,  2H137CD33 ,  2H137EA02 ,  2H137EA03 ,  2H137EA04 ,  2H137EA05 ,  2H137FA00 ,  2H137HA13 ,  2H147AB04 ,  2H147AB05 ,  2H147AB06 ,  2H147BG02 ,  2H147BG05 ,  2H147BG17 ,  2H147CA01 ,  2H147CA13 ,  2H147CB04 ,  2H147CB05 ,  2H147CC05 ,  2H147CC12 ,  2H147CC14 ,  2H147CC20 ,  2H147CD02 ,  2H147CD12 ,  2H147DA08 ,  2H147EA09C ,  2H147EA12C ,  2H147EA16A ,  2H147EA16B ,  2H147FC01 ,  2H147FC08 ,  2H147FC09 ,  2H147GA10 ,  2H147GA19

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 光結合装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-105833   出願人：ソニー株式会社

審査官引用 (4件)

• 光学部品の接続方法および光インターコネクションシステムおよび光配線モジュール
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-006671   出願人：株式会社リコー
• 光伝送基板、光伝送基板製造方法、及び光電気集積回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-397920   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
• 導波路型光モジュール、光導波路フィルム及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-021594   出願人：富士ゼロックス株式会社
• 光導波路フィルム及び光導波路フィルムの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-280157   出願人：ミツミ電機株式会社