ピストンポンプ、塗布装置および塗布方法並びにプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造装置および製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-147891
公開番号（公開出願番号）：特開2000-334355
出願日： 1999年05月27日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
要約：

【要約】【課題】ダイコータにおいて、(1)連結するダイや配管ラインの塗布液や洗浄液の置換を短時間で行えること、(2)間欠型定容量ポンプであっても滞留部分がなく、塗布液や洗浄液を短時間で置換できて、入れ替えや洗浄性に優れること、(3)定容量供給動作と定圧力供給を併用して、ダイからの塗布液吐出の応答性を高くして、塗布開始部の膜厚不良部分を極小にするとともに、定常部分の膜厚むらを長時間にわたって小さく保つこと、が可能なピストンポンプを提供するとともに、このピストンポンプを用いて生産性および製品の品質を向上させることのできる塗布装置および塗布方法並びにプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】流体を内部に蓄えるシリンダーと、往復動によってシリンダー内または外に流体を供給するピストンを有するピストンポンプにおいて、シリンダーとピストンに各々流体通過路を設けたことを特徴とするピストンポンプ。

請求項（抜粋）：

流体を内部に蓄えるシリンダーと、往復動によってシリンダー内または外に流体を供給するピストンを有するピストンポンプにおいて、シリンダーとピストンに各々流体通過路を設けたことを特徴とするピストンポンプ。

IPC (3件)：

B05C 5/00 101 , B05D 1/26 , F04B 7/04

FI (3件)：

B05C 5/00 101 , B05D 1/26 Z , F04B 7/04

Fターム (19件)：

3H070AA07 , 3H070BB07 , 3H070CC31 , 3H070CC33 , 3H070DD08 , 3H070DD26 , 3H070DD62 , 4D075AC04 , 4D075AC94 , 4D075AC95 , 4D075CA48 , 4D075DA06 , 4D075DB13 , 4D075DC24 , 4D075EA45 , 4F041AA05 , 4F041CA02 , 4F041CA16 , 4F041CA25

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭56-097573
塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置および製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-325616 出願人：東レ株式会社
高粘度材料とガスの混合吐出装置及びピストンポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-294285 出願人：サンスター技研株式会社, ユニサンスタービーブイ

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