ユースポイントモジュールシステム

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-226312
公開番号（公開出願番号）：特開平8-089954
出願日： 1994年09月21日
公開日（公表日）： 1996年04月09日
要約：

【要約】【目的】半導体産業における超純水製造プロセスにおいて、配管や各ユニットプロセスからの溶出物や、残存不純物を最終的に取り除く機能を、ユースポイント直前に設置することにより、高純度超純水を安定に供給することを可能にするシステムを提供する。【構成】膜内部にアニオン交換基を有する高分子鎖が保持されている中空糸状多孔膜であって、膜1gあたり0.2〜10ミリ等量のアニオン交換基を有し、平均孔径0.01〜1μmの中空糸状多孔膜を充填したモジュールをユースポイント直前に設置したことを特徴とするユースポイントモジュールシステムによって目的を達することができる。なお、上記中空糸状多孔膜として、膜内部にカチオン交換基を有する高分子鎖が保持されているものを使用した場合はカチオン除去性能を得ることができ、また、膜内部にキレート形成基を有する高分子鎖が保持されているものを使用した場合、極低濃度まで、重金属イオンを除去する性能を得ることができる。

請求項（抜粋）：

膜内部にイオン交換基を有する高分子鎖が保持されている中空糸状多孔膜であって、膜1gあたり0.2〜10ミリ等量のイオン交換基を有し、平均孔径0.01〜1μmの中空糸状多孔膜を充填したモジュールをユースポイント直前に設置したことを特徴とするユースポイントモジュールシステム。

引用特許：

審査官引用 (1件)

イオンの除去方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-016825 出願人：旭化成工業株式会社

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