特許
J-GLOBAL ID：200903084034601784

マイクロマシニング型の構成エレメント

発明者：
フーベルト ベンツェル

フーベルト ベンツェル について

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ヘリベルト ヴェーバー

ヘリベルト ヴェーバー について

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ミヒャエル バウアー

ミヒャエル バウアー について

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ハンス アルトマン

ハンス アルトマン について

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トルステン パネック

トルステン パネック について

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フランク シェーファー

フランク シェーファー について

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クリスティアン クルンメル

クリスティアン クルンメル について


出願人/特許権者：
ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング

ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング について


代理人 (3件)： 矢野 敏雄 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  ラインハルト・アインゼル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-517563
公開番号（公開出願番号）：特表2004-522174
出願日： 2002年07月06日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：
本発明は、基板(10)と、該基板(10)に被着されたカバー層(40)とを備えたマイクロマシニング型の構成エレメントであって、カバー層(40)の下方に、該カバー層(40)を機械的に支持しかつ該カバー層(40)を断熱する、多孔質材料から成る範囲(30;30′)が設けられている形式のものに関する。カバー層(40)上には、前記範囲(30;30′)の上方でカバー層(40)を加熱するための加熱装置(70)が設けられており、そして前記範囲(30;30′)の上方には、前記範囲(30;30′)の上方でカバー層(40)に設けられた加熱される媒体(150)の電気的な特性を検出するための検出装置(200,200′)が設けられている。
請求項（抜粋）：
基板(10)と、該基板(10)に被着されたカバー層(40)とを備えたマイクロマシニング型の構成エレメントであって、カバー層(40)の下方に、該カバー層(40)を機械的に支持しかつ該カバー層(40)を熱的に絶縁する、つまり断熱する、多孔質材料から成る範囲(30;30′)が設けられている形式のものにおいて、カバー層(40)上に、前記範囲(30;30′)の上方でカバー層(40)を加熱するための加熱装置(70)が設けられており、前記範囲(30;30′)の上方に、前記範囲(30;30′)の上方でカバー層(40)に設けられた加熱される媒体(150)の電気的な特性を検出するための検出装置(200,200′)が設けられていることを特徴とする、マイクロマシニング型の構成エレメント。
IPC (3件)：
G01N27/22 ,  G01N27/04 ,  G01N27/12
FI (4件)：
G01N27/22 A ,  G01N27/04 E ,  G01N27/12 A ,  G01N27/12 B
Fターム (29件)：
2G046AA01 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BE03 ,  2G046BF01 ,  2G046BF02 ,  2G046DB04 ,  2G046DB05 ,  2G046DC13 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046EA08 ,  2G046EA11 ,  2G046EA12 ,  2G046FB01 ,  2G046FE38 ,  2G060AA01 ,  2G060AE19 ,  2G060AF07 ,  2G060AF10 ,  2G060AG06 ,  2G060AG08 ,  2G060AG10 ,  2G060BA01 ,  2G060BA09 ,  2G060BB02 ,  2G060BB07
引用特許：
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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