特許
J-GLOBAL ID：200903084049548812

スパッタリング用ターゲット及び透明導電ガラス並びに透明導電フィルム

発明者：
井上 一吉

井上 一吉 について


出願人/特許権者：
出光興産株式会社

出光興産株式会社 について


代理人 (1件)： 東平 正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-058385
公開番号（公開出願番号）：特開2000-256838
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
要約：
【要約】【課題】 薄膜型液晶ディスプレイの表示部を、スイッチング部分と液晶駆動用透明導電膜の部分とを遮蔽膜によって分離した複雑な構成とすることなく、良好なスイッチング性能を保持することのできる透明導電膜を得るためのスパッタリング用ターゲット、およびその透明導電膜を有する透明導電ガラス、透明導電フィルムを提供すること。【解決手段】酸化インジウム、酸化亜鉛および酸化錫から選択される1種または2種以上の金属酸化物からなり、該金属酸化物中のナトリウムの含有量が5重量ppm以下である焼結体からなるスパッタリング用ターゲット、該スパッタリング用ターゲットを用いて製膜した透明導電膜を有する透明導電ガラスならびに透明導電フィルム。
請求項（抜粋）：
酸化インジウム、酸化錫および酸化亜鉛から選択される1種または2種以上の金属酸化物からなり、該金属酸化物中のナトリウム含有量が5重量ppm以下である焼結体からなるスパッタリング用ターゲット。
IPC (4件)：
C23C 14/34 ,  C04B 35/00 ,  C23C 14/08 ,  H01B 5/14
FI (4件)：
C23C 14/34 A ,  C23C 14/08 D ,  H01B 5/14 A ,  C04B 35/00 H
Fターム (23件)：
4G030AA32 ,  4G030AA34 ,  4G030AA39 ,  4G030BA02 ,  4G030GA05 ,  4G030GA15 ,  4G030GA23 ,  4K029AA09 ,  4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029AA25 ,  4K029BA45 ,  4K029BA47 ,  4K029BA49 ,  4K029BA50 ,  4K029BC09 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC02 ,  5G307FC10
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

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