ステージ移動制御装置及び投影型露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-294723
公開番号（公開出願番号）：特開平8-153662
出願日： 1994年11月29日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：

【要約】【目的】ステージ位置決め時直後の振動特性を定量的に評価する。【構成】ステージ54が移動すると、この移動位置が干渉計56により検出される。制御部50ではこの干渉計56の出力をモニターしつつステージ54の移動位置を制御する。このようにして制御部50では、ステージ54の位置決めを行なうと共に、干渉計56の出力に基づきステージ54の目標位置と現在位置との誤差の2乗の相加平均の平方根を演算し、この演算結果に基づいてステージ54の振動量を推定する。これにより、位置決め直後の振動の減衰が急激な場合、減衰が緩やか若しくは殆どない場合等、振動特性をある程度定量的に評価することが可能になる。

請求項（抜粋）：

直線上又は直交二軸方向に移動可能なステージの移動位置を制御するステージ移動制御装置であって、前記ステージの移動位置を検出する位置センサと、前記位置センサの出力をモニターしつつ前記ステージの移動位置を制御する制御手段と、前記ステージの位置決め時に、前記位置センサの出力に基づき前記ステージの目標位置と現在位置との誤差の2乗の相加平均の平方根を演算すると共に、この演算結果に基づいて前記ステージの振動量を推定する推定手段と、を有するステージ移動制御装置。

FI (2件)：

H01L 21/30 503 A , H01L 21/30 515 G

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開平2-015614
特開平2-226713
特開平4-003413

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