特許
J-GLOBAL ID：200903084067340420
画像測定装置の校正方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-313538
公開番号（公開出願番号）：特開2009-139139
出願日： 2007年12月04日
公開日（公表日）： 2009年06月25日
要約：
【課題】撮像手段の撮像方向を変更した場合に、撮像手段の位置を校正可能な画像測定装置の校正方法を提供すること。【解決手段】画像測定装置は、対物レンズ31を有するCCDカメラ3と、撮像方向を変更させる姿勢変更装置と、CCDカメラ3とワークとを相対移動させて対物レンズ31のオートフォーカス機能を有する移動機構と、CCDカメラ3の位置検出機構とを備える。校正方法は、対物レンズ31の焦点深度DF以下の半径寸法に形成された球部13を有し、その表面を基準面14とする基準器10を準備する準備工程と、撮像方向を変更する姿勢変更工程と、移動機構のオートフォーカス機能により、基準面14に対物レンズ31の焦点を合わせる焦点調整工程と、位置検出手段により撮像手段の位置情報を検出する位置検出工程とを備え、CCDカメラ3の位置を校正する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
所定の焦点深度を有する対物レンズ、および、この対物レンズを介してワークを撮像し画像信号として出力する検出素子を有する撮像手段と、
この撮像手段の撮像方向を変更させる姿勢変更手段と、
前記ワークと前記撮像手段とを相対移動させる移動手段と、
前記ワークに対する前記対物レンズの焦点を合わせる焦点調整手段と、
前記撮像手段の測定位置を位置情報として出力する位置検出手段と、を備えた画像測定装置において、前記撮像方向を変更した際に、前記位置情報を校正する画像測定装置の校正方法であって、
前記対物レンズの焦点深度以下の半径寸法に形成された球部を有し、この球部の表面を基準面とする基準器を用意する準備工程と、
前記撮像手段の撮像方向を変更させる姿勢変更工程と、
前記移動手段により前記撮像手段を前記基準器に対して相対移動させて、前記焦点調整手段により前記基準面に前記対物レンズの焦点を合わせる焦点調整工程と、
前記位置検出手段により前記撮像手段の位置情報を検出する位置検出工程と、
を備えることを特徴とする画像測定装置の校正方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (11件)：
2F065AA04
, 2F065BB07
, 2F065EE00
, 2F065FF10
, 2F065FF66
, 2F065FF67
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065PP03
, 2F065PP04
, 2F065PP05
