冷陰極電離真空計

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：八木田茂 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-176243
公開番号（公開出願番号）：特開平10-019711
出願日： 1996年07月05日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：

【要約】【課題】冷陰極電離真空計において、小形軽量化を図ると共に測定精度を向上させること。【解決手段】本発明は、磁石による磁界を利用した冷陰極型電離真空計において、磁石を真空計容器内に設けると共に、その磁石でアノードまたはカソードを構成することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被測定真空容器に取り付けるようにされたフランジ真空容器内に、外部直流電圧源に接続されるアノードと、接地されるカソードとを配置し、磁石による磁場を利用してアノードとカソードとで画定される空間に持続放電を発生させ、その放電電流から真空度を測定するようにした冷陰極型電離真空計において、磁石を真空容器内に配置し、この磁石でアノードまたはカソードを構成したことを特徴とする冷陰極電離真空計。

引用特許：

審査官引用 (2件)

真空計
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-091801 出願人：麻蒔立男
特開昭55-086048

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