特許

J-GLOBAL ID：200903084090287421

リーク検査方法及び被検査物、並びに、ガス透過特性測定方法及び被測定物

発明者： 溝上 員章
出願人/特許権者： 株式会社日本エイピーアイ
代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-043796
公開番号（公開出願番号）：特開2003-322583
出願日： 2003年02月21日
公開日（公表日）： 2003年11月14日
要約：

【要約】【課題】 短い時間で正確にリークを検査する。【解決手段】 膜2を含む仕切り部により仕切られて画成された空間S1,S2を備えた被検査物1の、空間S1と空間S2との間のリークを検査する。空間S1に第1のガスを通流させるとともに、空間S2に第1のガスに含まれない特有成分を含む第2のガスを通流させる。空間S1と空間S2との間にリークがあれば、空間S2内の第2のガスが拡散等により空間S2内に侵入し、空間S1を通流したガス中には、第2のガスの特有成分が含まれる。一方、空間S1と空間S2との間にリークがなければ、空間S2内の第2のガスは空間S1内に侵入せず、空間S1を通流したガス中には、第2のガスの成分が含まれない。よって、空間S1を通流したガスをガス分析装置17で分析することで、リークを検査することができる。

請求項（抜粋）：

仕切り部により仕切られて画成された第1及び第2の空間を1組以上備えた被検査物の、前記第1の空間と前記第2の空間との間のリークを検査するリーク検査方法であって、前記第1の空間に第1のガスを通流させるとともに、前記第2の空間に前記第1のガスに含まれない成分を含む第2のガスを存在させ、前記第1の空間を通流したガスをガス分析装置で分析することにより、前記リークを検査することを特徴とするリーク検査方法。

IPC (5件)：

G01M 3/20 ,  G01M 3/00 ,  G01M 3/26 ,  H01M 8/04 ,  H01M 8/10

FI (5件)：

G01M 3/20 B ,  G01M 3/00 F ,  G01M 3/26 L ,  H01M 8/04 Z ,  H01M 8/10

Fターム (13件)：

2G067AA41 ,  2G067BB02 ,  2G067BB03 ,  2G067BB04 ,  2G067BB12 ,  2G067CC04 ,  2G067DD04 ,  2G067DD17 ,  2G067DD18 ,  5H026AA06 ,  5H026CX04 ,  5H027AA06 ,  5H027KK31

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 漏洩試験方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-298605   出願人：ヤマハ株式会社
• ヘリウムリークディテクタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-188630   出願人：株式会社島津製作所
• 気体透過評価装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-015960   出願人：ソニー株式会社