特許

J-GLOBAL ID：200903084122524684

基板搬送装置および露光装置

発明者： 中里 博
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-134129
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323553
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】 基板を搬送する基板搬送装置において、装置全体の処理速度を落とすことなく、またコンタミネーションの発生頻度も増大することなく、基板の温度調整を行なう。【解決手段】 基板受け渡し位置から所望の位置へ基板を搬送するための基板搬送装置において、基板受け渡し位置で外部より基板を受け取る基板搬入部材上で基板の温度を調整する。

請求項（抜粋）：

基板受け渡し位置から所望の位置へ基板を搬送するための基板搬送装置において、前記基板受け渡し位置で外部より前記基板を受け取る基板搬入部材に、前記基板の温度を調整する基板温調プレートを設けることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01L 21/68 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 H ,  H01L 21/30 502 J

Fターム (13件)：

5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA37 ,  5F031MA27 ,  5F031PA11 ,  5F031PA26 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046CD06 ,  5F046CD10 ,  5F046DA26

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-312538   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-232008   出願人：株式会社ニコン