特許
J-GLOBAL ID：200903089780048189
基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-232008
公開番号（公開出願番号）：特開平9-063939
出願日： 1995年08月17日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】 基板の交換時間の短縮を図る。【解決手段】基板保持部材56上に基板Wが保持されている状態で、アーム駆動機構38により搬送アーム26が駆動され爪部32が保持部材56の凹溝58、60内に挿入され、駆動機構38により搬送アーム26が上方へ駆動されるだけで、搬送アーム26上に基板Wが移載され、搬送アームを保持部材56上から退避させるとアンローディングが終了する。一方、駆動機構38により搬送アーム24が駆動され保持部材56の凹溝58、60内に搬送アーム24の爪部28が挿入され、駆動機構38により搬送アーム24が僅かに下方へ駆動されるだけで、保持部材56上に基板Wが移載され、搬送アーム24を退避させるとアンローディングが終了する。
請求項（抜粋）：
2次元方向に移動可能なステージ上に基板を搬送する基板搬送装置であって、前記基板を保持する搬送アームと;前記搬送アームを前記ステージ移動面に平行に駆動する水平駆動機構と;前記ステージ上に設けられ、前記基板との接触面側に前記基板を保持した状態で前記搬送アームを挿入可能な凹溝が形成された基板保持部材と;前記搬送アーム及び前記基板保持部材の少なくとも一方を前記ステージ移動面に直交する方向に駆動する上下駆動機構とを有する基板搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B65G 49/07
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68
H01L 21/30 514 D
, B65G 49/07 C
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68 N
, H01L 21/68 A
, H01L 21/30 502 J
