特許

J-GLOBAL ID：200903084124821708

酸解離性基を有する狭分散性重合体及びその製造方法

発明者： 山本 喜博 ,  高尾 俊郎 ,  福田 立子 ,  池田 圭一 ,  須永 忠弘 ,  川原 信夫 ,  大北 益瑞 ,  一木 康夫
出願人/特許権者： 三井化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-343155
公開番号（公開出願番号）：特開平11-171982
出願日： 1997年12月12日
公開日（公表日）： 1999年06月29日
要約：

【要約】【課題】 レジスト材として用いられるのに必要な諸物性を満足し、しかも狭い分子量分布を有する新規な酸解離性基を有する重合体を提供し、かつその製造方法を提供する。【解決手段】 構造単位として酸解離性基を有し、重量平均分子量Mwと数平均分子量Mnとの比(Mw/Mn)が1.0〜2.0であり、かつGPCで測定したポリスチレン換算の数平均分子量が500〜100,000であることを特徴とする重合体であり、環状オレフィン系単量体をリビング開環メタセシス触媒で重合し、水素添加触媒の下に水素添加した後、酸無水物基の少なくとも一部を加水分解し、更にビニルエーテル類またはα,β-不飽和ケトン類と反応させることによって製造する。

請求項（抜粋）：

一般式(1)【化1】(式中、R1は酸により解離する基であり、R2〜R3はそれぞれ水素、炭素数1〜20のアルキル、ハロゲン、ハロゲン化アルキルまたはニトリルから選ばれ、mは0または1〜3の整数を表す。)で表される構造単位を有し、重量平均分子量Mwと数平均分子量Mnとの比(Mw/Mn)が1.0〜2.0であり、かつGPCで測定したポリスチレン換算の数平均分子量(Mn)が500〜100,000であることを特徴とする酸解離性基を有する狭分散性重合体。

IPC (2件)：

C08G 61/08 ,  G03F 7/039 601

FI (2件)：

C08G 61/08 ,  G03F 7/039 601

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 酸不安定性ペンダント基を有する多環式ポリマーからなるフォトレジスト組成物
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-512109   出願人：ザビー.エフ.グッドリッチカンパニー
• 開環メタセシス(共)重合体の水素添加物及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-295823   出願人：三井化学株式会社