特許

J-GLOBAL ID：200903084138723601

圧電体薄膜、圧電体およびそれらの製造方法、ならびに当該圧電体薄膜を用いた圧電体共振子、アクチュエータ素子および物理センサー

発明者： 秋山 守人 ,  蒲原 敏浩 ,  上野 直広 ,  加納 一彦 ,  勅使河原 明彦 ,  竹内 幸裕 ,  川原 伸章
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  株式会社デンソー
代理人 (1件)： 特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-098480
公開番号（公開出願番号）：特開2009-010926
出願日： 2008年04月04日
公開日（公表日）： 2009年01月15日
要約：

【課題】圧電応答性を向上した、窒化アルミニウム薄膜を備えている圧電体薄膜を提供する。【解決手段】本発明に係る圧電体薄膜は、スカンジウムを含有する窒化アルミニウム薄膜を備えており、窒化アルミニウム薄膜におけるスカンジウムの含有率は、スカンジウムの原子数とアルミニウムの原子数との総量を100原子%としたとき、0.5〜50原子%である。これによって、本発明に係る圧電体薄膜は、窒化アルミニウム薄膜の有する弾性波の伝播速度、Q値、および周波数温度係数の特性を失うことなく、圧電応答性を向上することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

希土類元素を含有する窒化アルミニウム薄膜を備えている圧電体薄膜であって、上記希土類元素はスカンジウムであり、かつ、上記スカンジウムの原子数と上記窒化アルミニウム薄膜におけるアルミニウムの原子数との総量を100原子%としたとき、上記スカンジウムの含有率が、0.5〜50原子%の範囲内であることを特徴とする圧電体薄膜。

IPC (7件)：

H03H 9/17 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24 ,  H03H 9/56 ,  H03H 3/02

FI (7件)：

H03H9/17 F ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A ,  H03H9/56 B ,  H03H3/02 B

Fターム (12件)：

5J108AA04 ,  5J108AA07 ,  5J108AA09 ,  5J108BB08 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108FF05 ,  5J108KK01 ,  5J108KK07 ,  5J108MM11

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 圧電薄膜共振子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-141846   出願人：宇部エレクトロニクス株式会社

審査官引用 (2件)

• 圧電薄膜共振子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-141846   出願人：宇部エレクトロニクス株式会社
• 圧電素子及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-097325   出願人：セイコーエプソン株式会社