特許

J-GLOBAL ID：200903043274439072

圧電素子及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置

発明者： 角 浩二 ,  風間 宏信
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-097325
公開番号（公開出願番号）：特開2006-278835
出願日： 2005年03月30日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：

【課題】 小さな駆動電圧で大きな歪みを得ることができる圧電素子及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。【解決手段】 チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)からなりペロブスカイト型結晶で(100)面に優先配向した圧電体膜70と、前記圧電体膜70を挟む下電極60及び上電極80とを有し、前記圧電体膜70の(100)面に由来するX線の回折ピーク位置が2θ=21.79〜21.88度の範囲内である。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)からなりペロブスカイト型結晶で(100)面に優先配向した圧電体膜と、前記圧電体膜を挟む下電極及び上電極とを有し、前記圧電体膜の(100)面に由来するX線の回折ピーク位置が2θ=21.79〜21.88度の範囲内であることを特徴とする圧電素子。

IPC (5件)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18

FI (4件)：

H01L41/08 J ,  B41J3/04 103A ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z

Fターム (6件)：

2C057AF03 ,  2C057AG12 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 圧電素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-048951   出願人：オムロン株式会社

審査官引用 (2件)

• 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-199252   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 圧電体薄膜素子、その製造方法、及び圧電体薄膜素子を用いたインクジェット式記録ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-245353   出願人：セイコーエプソン株式会社

引用文献：

審査官引用 (2件)

• Crystallization of Pb(Zr,Ti)O3 films prepared by radio frequency magnetron sputtering with a stoichi
• Ferroelectric characteristics of oriented Pb(Zr1-xTiX)O3 films)