特許
J-GLOBAL ID：200903084148354680

基板の切欠き検出装置および基板処理装置

発明者：
矢部 学

矢部 学 について

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福冨 義光

福冨 義光 について

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久井 章博

久井 章博 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-181838
公開番号（公開出願番号）：特開平9-036205
出願日： 1995年07月18日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】【課題】 基板裏面の汚染および基板の位置ずれが生じることなく、比較的簡単な構造で基板の切欠き部を検出することができる基板の切欠き検出装置およびそれを備えた基板処理装置を提供することである。【解決手段】 発光部および受光部を備えたフォトセンサ2から出射された光を基板冷却部20の中心部の上方に配置された固定鏡3により鉛直下方に反射し、回転駆動される回転部材4の貫通孔5を通過させ、回転部材4の下部に取り付けられた回転鏡6により外方の斜め下方に反射する。回転鏡6により反射された光を基板冷却部20と回転部材4との間に配設された環状の固定鏡9により基板冷却部20上に載置された基板100の表面周縁部の方向に反射する。基板100の切欠き部を通過した光を環状の反射板10により反射し、逆の経路を経由してフォトセンサ2に導く。
請求項（抜粋）：
基板の切欠き部を検出する切欠き検出装置であって、前記基板の表面周縁部に光を回転走査しながら投射する光走査手段と、前記光走査手段により投射された光の帰還光に基づいて前記基板の前記切欠き部を検出する検出手段とを備えたことを特徴とする基板の切欠き検出装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  G01B 11/24 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
H01L 21/68 M ,  G01B 11/24 Z ,  H01L 21/30 564 C
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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