特許

J-GLOBAL ID：200903084149086611

形状可変ミラー装置

発明者： 田中 史記
出願人/特許権者： 船井電機株式会社
代理人 (2件)： 佐野 静夫 ,  井上 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-329700
公開番号（公開出願番号）：特開2007-139841
出願日： 2005年11月15日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：

【課題】 波面収差の補正を高精度に行うことができる形状可変ミラー装置を提供する。 【解決手段】 駆動電極7、8に駆動電位を印加することで圧電材5、6が伸縮し、ミラー基材2およびミラー面3が変形する形状可変ミラー装置1であって、ミラー基材2およびミラー面3が変形していない状態での光ビームのミラー面3における照射部11の面積よりも大きな面積の上下面を共通電極4、圧電材6、駆動電極8は有し、ミラー面3の上方から見て、照射部11は共通電極4、圧電材6、駆動電極8が有する各上下面の領域内に入るように構成されている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

ミラー面が形成されシリコンで構成されるミラー基材と、前記ミラー面に対向して前記ミラー基材に形成された第一の電極と、該第一の電極の下面に形成された圧電材と、該圧電材の下面に形成された第二の電極とを備え、 前記第一の電極および前記圧電材および前記第二の電極は、前記ミラー基材および前記ミラー面が変形していない状態での前記ミラー面上の光ビームの照射領域の面積よりも大きな面積の上下面を有し、 前記ミラー面の上方から見て前記照射領域は、前記第一の電極および前記圧電材および前記第二の電極が有する各上下面の領域内に入るよう構成され、 前記ミラー面上に、圧電ポリマーで構成された前記ミラー面の変形を検出するセンサが設けられていることを特徴とする形状可変ミラー装置。

IPC (4件)：

G02B 26/06 ,  G02B 5/10 ,  G11B 7/135 ,  G02B 26/08

FI (4件)：

G02B26/06 ,  G02B5/10 B ,  G11B7/135 A ,  G02B26/08 E

Fターム (14件)：

2H041AA23 ,  2H041AB14 ,  2H041AB38 ,  2H041AC08 ,  2H041AZ06 ,  2H041AZ08 ,  2H042DD13 ,  2H042DE04 ,  5D789AA11 ,  5D789BA01 ,  5D789EC01 ,  5D789EC04 ,  5D789JA09 ,  5D789JA57

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 波面収差補正ミラーおよび光ピックアップ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-201555   出願人：株式会社リコー