特許
J-GLOBAL ID：200903085058655032
波面収差補正ミラーおよび光ピックアップ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
植本 雅治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-201555
公開番号（公開出願番号）：特開2005-043544
出願日： 2003年07月25日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：
【課題】より精度良く、より簡易な構造で、収差補正を行なうことの可能な波面収差補正ミラーを提供する。【解決手段】ミラー基板(6)の平面度が悪いとき、センサ用電極(23、24)から信号を受け取り、平面度の悪い分だけの変位駆動電圧をオフセット電圧として駆動用電極(21、22)に印加する。これにより、ミラー基板(6)の平面度は改善され、その上で収差補正用電圧を駆動用電極(21、22)に印加する。このとき、センサ用電極(23、24)からは常にミラー変位信号が出ており、必要に応じてフィードバックをかけることができる。本発明では、検知用センサが駆動用圧電素子と同じ材料(同じ圧電材)で作られているため、ミラー基板の変形がそのまま検知用センサに伝わり、精度の良いフィードバックがかけられ、平面度や収差補正形状を精度良くコントロールすることが可能となる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ミラー面を変位させることにより収差補正する波面収差補正ミラーにおいて、ミラーの変位を検知する検知用センサと、検知用センサによって検知された変位情報に基づいてミラーを変形させる駆動用圧電素子とを有し、検知用センサと駆動用圧電素子とが同じ圧電材で構成されていることを特徴とする波面収差補正ミラー。
IPC (6件)：
G02B5/10
, G02B7/198
, G02B26/06
, G11B7/095
, G11B7/125
, G11B7/135
G02B5/10 B
, G02B26/06
, G11B7/095 G
, G11B7/125 B
, G11B7/135 A
, G02B7/18 B
2H041AA23
, 2H041AB14
, 2H041AB38
, 2H041AC08
, 2H041AZ01
, 2H041AZ06
, 2H042DA05
, 2H042DA08
, 2H042DA11
, 2H042DA12
, 2H042DB00
, 2H042DD13
, 2H043BB03
, 2H043BB07
, 2H043BC01
, 5D118AA13
, 5D118BA01
, 5D118CD04
, 5D118DC07
, 5D118EA11
, 5D789AA28
, 5D789BA01
, 5D789EC01
, 5D789JA09
, 5D789JA57
