特許
J-GLOBAL ID：200903084155026450
i線露光用組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 猛 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-145134
公開番号（公開出願番号）：特開平8-036264
出願日： 1993年07月22日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：
【要約】 (修正有)【構成】 (A)一般式(I)で表わされる繰り返し単位を有し、アミド結合濃度1.5mol/kg以上である芳香族ポリイミド前駆体、〔式中Xは四価のフッ素原子を含まない芳香族基等であって、RとR′は各々独立に-NHR2等、(ただしR2はエチレン性不飽和結合を有する有機基)であり、Yはフッ素原子を含まない二価の芳香族基等である。(B)光重合開始剤、及び(C)溶剤を含む感光性組成物であって、かつ上記の感光性組成物を塗布乾燥後に形成される感光性組成物のフィルムの波長365nmにおける吸光度が、膜厚10μm当り1.5以下であることを特徴とする感光性組成物。【効果】 i線により、良好なパターンが形成され、しかもそのパターンを熱硬化後に得られるポリイミドが優れた塗膜物性を示すとともにエポキシ樹脂、無機材料及び金属との接着力も良好であり、かつ優れた耐水性を示す感光性組成物が得られた。
請求項（抜粋）：
(A)一般式(I)で表わされる繰り返し単位を有し、アミド結合濃度1.5mol/kg以上である芳香族ポリイミド前駆体、【化1】〔式中Xは四価のフッ素原子を含まない芳香族基又は2〜4個のフッ素原子を含まない芳香族基が単結合、エーテル結合、チオエーテル結合、カルボニル結合、メチレン結合、スルホキシド結合及びスルホン結合の中から選ばれた少なくとも1種の結合を介して結合した化学構造をもつ四価の有機基であって、-COR基及び-COR′基と-CONH-基とは互にオルト位置にあり、RとR′は各々独立に-NHR2 、-O- N+ R3 R4 R5 R6 又は-OH(ただしR2 及びR3 それぞれ独立にかつ一種類とは限らず、エチレン性不飽和結合を有する有機基、R4 、R5 及びR6 は各々水素又は炭素数1〜6の炭化水素基)であり、少なくとも一部の繰り返し単位中のR又R′は-OH以外の残基であり、Yはフッ素原子を含まない二価の芳香族基又は2〜6個の芳香族基が単結合、エーテル結合、チオエーテル結合、カルボニル結合、メチレン結合、2,2-プロピレン結合、スルホキシド結合及びスルホン結合の中から選ばれた少なくとも1種の結合を介して相互に連結した化学構造をもつ、フッ素原子を含まない二価の有機基である〕(B)光重合開始剤、及び(C)溶剤を含む感光性組成物において、上記の芳香族ポリイミド前駆体ポリマーにおける(i)アミド結合濃度が2.42mol/kg以下であること、及び/又は(ii)Xが結合基の存在する芳香族基において非プロトン性の電子供与基によって置換された芳香族基の化学構造を有する四価の基であること、及び/又は(iii-2)Yが一般式(II)【化2】〔式中Aは-CH2 -、-CO-、-SO2 -、-O-、-S-、m-ジオキシフェニレン基、p-ジオキシフェニレン基または一般式(II-1)【化3】(式中Bは-CH2 -、-CO-、-SO2 -、-O-、-S-、m-ジオキシフェニレン基、p-ジオキシフェニレン基、kは0または1)で示される基、mは0または1〕で示される二価の基であること、又は(iii-3)一般式(III)【化4】で示される二価の基であること、又は(iii-4)結合基の存在する芳香族基またはこれとエーテル結合を介して隣接する芳香族基において非プロトン性の電子吸引基によって置換された芳香族基の化学構造を有する二価の基であること、を特徴とし、かつ上記の感光性組成物を塗布乾燥後に形成される感光性組成物のフィルムの波長365nmにおける吸光度が、膜厚10μm当り1.5以下であることを特徴とする感光性組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/038 504
, C08G 73/10 NTF
, C08L 79/08 LRB
, G03F 7/004 503
, G03F 7/027 514
, G03F 7/031
, H01L 21/027
, H01L 21/312
