荷電粒子ビーム露光方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松本眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-092065
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297092
出願日： 1994年04月28日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】スループットを向上させる。【構成】増幅回路32として、入力が大ステップ変化するときに整定時間が最小になるように、高周波成分を通過させる増幅回路内部のコンデンサの静電容量を調整しておく。増幅回路32の出力端と偏向器30との間に、偏向器30との結合回路でローパスフィルタを構成可能な可変抵抗器33を接続し、増幅回路32の入力が大ステップ変化するときには可変抵抗器33の抵抗値を0にし、小ステップ変化するときには、該結合回路がローパスフィルタを構成するようにし可変抵抗器33の抵抗値を切り換えて、偏向器駆動電圧の整定時間を短縮させる。

請求項（抜粋）：

増幅回路(32)の入力を、少なくとも第1値と該第1値より大きい第2値との変化量でステップ変化させ、該増幅回路の出力端に結合された偏向器(30)で、露光対象物(10)上に入射する荷電粒子ビーム(EB)を偏向させる荷電粒子ビーム露光方法において、該増幅回路として、入力が該第1値だけステップ変化するときに出力に減衰振動が生ずる程度に速応性が高いものを用い、該増幅回路の出力端と該偏向器との間に、該偏向器との結合回路でローパスフィルタを構成可能な可変インピーダンス器(33)を接続し、該ステップ変化量が該第1値のときに該結合回路がローパスフィルタを構成し、かつ、該ステップ変化量が該第2値のときより該第1値のときの方が、高周波成分をより低減するように、該可変インピーダンス器のインピーダンス値を切り換えることを特徴とする荷電粒子ビーム露光方法。

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭53-015077
特開昭63-070523
荷電粒子線露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-006367 出願人：富士通株式会社

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