シート状材料の表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中井宏行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-011996
公開番号（公開出願番号）：特開2001-201455
出願日： 2000年01月20日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：

【要約】【課題】検査精度が高いシート状材料の表面欠陥検査方法を提供する。【解決手段】シート状材料の表面に対し、所定範囲内の角度から光を照射し、その反射光を撮像した画像と、シート状材料の表面の上方から光を照射し、その反射光を上方から撮影した画像とを基にして、シート状材料表面の凹凸不良を検出する。

請求項（抜粋）：

シート状材料の表面に対し、所定範囲内の角度から光を照射し、その反射光を撮像した画像と、上記シート状材料の表面の上方から光を照射し、その反射光を上方から撮影した画像とを基にして、上記シート状材料表面の凹凸不良を検出することを特徴とするシート状材料の表面欠陥検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/892 , G01B 11/30

FI (2件)：

G01N 21/892 B , G01B 11/30 A

Fターム (52件)：

2F065AA03 , 2F065AA17 , 2F065AA49 , 2F065AA51 , 2F065BB13 , 2F065BB15 , 2F065CC02 , 2F065CC06 , 2F065EE00 , 2F065EE04 , 2F065FF42 , 2F065FF44 , 2F065FF61 , 2F065FF67 , 2F065HH12 , 2F065HH13 , 2F065HH14 , 2F065JJ01 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ08 , 2F065JJ09 , 2F065JJ19 , 2F065LL00 , 2F065NN11 , 2F065NN16 , 2F065NN17 , 2F065PP16 , 2F065QQ03 , 2F065QQ06 , 2F065QQ13 , 2F065QQ21 , 2F065QQ23 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ26 , 2F065QQ28 , 2F065QQ29 , 2G051AA37 , 2G051AB07 , 2G051BA01 , 2G051BB01 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051DA01 , 2G051DA06 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EA14 , 2G051EB01

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭61-228332
特開昭61-091547
支持体表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-054383 出願人：日立電子株式会社, コニカ株式会社

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