特許

J-GLOBAL ID：200903084164673086

ターボ分子ポンプ

発明者： 長野 善宏
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-110074
公開番号（公開出願番号）：特開2001-295786
出願日： 2000年04月12日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 ロータが破損したときの衝撃をやわらげることができる、ターボ分子ポンプの提供。【解決手段】 ターボ分子ポンプにおいて、ケーシング11の内部に、スペーサリング30により固定翼11aを固定するとともに、スペーサリング30はその外周曲面に、高張力ファイバを巻回し、エポキシ等の接着剤で固定することで、スペーサリング30と固定翼11aに作用する衝撃力を高張力ファイバで緩和する。

請求項（抜粋）：

ケーシングの内部に、スペーサリングにより固定翼を固定したターボ分子ポンプにおいて、前記スペーサリングの外周面に、高張力ファイバを巻回したことを特徴とするターボ分子ポンプ。

IPC (3件)：

F04D 19/04 ,  F04D 29/02 ,  F04D 29/52

FI (5件)：

F04D 19/04 E ,  F04D 19/04 D ,  F04D 19/04 H ,  F04D 29/02 ,  F04D 29/52 E

Fターム (22件)：

3H022AA01 ,  3H022BA01 ,  3H022BA02 ,  3H022BA07 ,  3H022CA48 ,  3H022CA51 ,  3H022DA00 ,  3H031EA09 ,  3H031FA01 ,  3H031FA34 ,  3H031FA39 ,  3H034AA02 ,  3H034BB01 ,  3H034BB08 ,  3H034BB11 ,  3H034CC03 ,  3H034CC07 ,  3H034DD01 ,  3H034DD24 ,  3H034DD28 ,  3H034DD30 ,  3H034EE17

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ターボ分子ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-223606   出願人：三菱重工業株式会社
• ターボ分子ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-196538   出願人：株式会社荏原製作所