特許
J-GLOBAL ID:200903084212493389
粘着シート
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (5件):
松浦 孝
, 小倉 洋樹
, 野中 剛
, 虎山 滋郎
, 坪内 伸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-072510
公開番号(公開出願番号):特開2008-231243
出願日: 2007年03月20日
公開日(公表日): 2008年10月02日
要約:
【課題】粘着力に優れ、ウエハ回路面等に対する凹凸追従性があって、研削時の研削水等のウエハ回路面への浸入を防止可能であり、なおかつ粘着剤残渣を生じさせない粘着シートを実現する。【解決手段】粘着シートは、基材と、基材の表面上に形成されたエネルギー線硬化型粘着剤層とを含む。エネルギー線硬化型粘着剤層は、エネルギー線硬化型アクリル共重合体と、エネルギー線硬化型ウレタンアクリレートとを含む。エネルギー線硬化型ウレタンアクリレートは、IPDI、TMDI、TMXDI等のイソシアナートを用いて生成されており、エネルギー線硬化型アクリル共重合体に対する相溶性に優れている。このため、粘着シートは、ウエハの研削工程における研削水の浸入や、ウエハからの剥離工程における粘着剤残渣の発生等を確実に防止することができる。【選択図】なし
請求項(抜粋):
基材の表面上に形成されたエネルギー線硬化型粘着剤層が、ジアルキル(メタ)アクリルアミドを共重合してなり、かつ側鎖に不飽和基を有するエネルギー線硬化型アクリル共重合体と、エネルギー線硬化型ウレタンアクリレートとを含み、
前記エネルギー線硬化型ウレタンアクリレートが、
イソホロンジイソシアナートとトリメチルヘキサメチレンジイソシアナートとテトラメチルキシレンジイソシアナートとの少なくともいずれかを含むイソシアナートブロックと、(メタ)アクリロイル基を有する化合物であることを特徴とする粘着シート。
IPC (3件):
C09J 7/02
, C09J 133/00
, C09J 175/16
FI (3件):
C09J7/02 Z
, C09J133/00
, C09J175/16
Fターム (16件):
4J004AA10
, 4J004AA14
, 4J004AB06
, 4J004CA01
, 4J004DA01
, 4J004FA04
, 4J004FA05
, 4J040DF101
, 4J040EF131
, 4J040FA231
, 4J040FA291
, 4J040KA13
, 4J040KA16
, 4J040MA04
, 4J040NA20
, 4J040PA23
引用特許:
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