特許

J-GLOBAL ID：200903084219264148

半導体試験装置

発明者： 浅見 幸司
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-329405
公開番号（公開出願番号）：特開2000-221248
出願日： 1999年11月19日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】半導体試験装置によりDUTから出力する被測定信号を一定周期で繰返し発生制御可能な点に着目して、1つのAD変換器を用い、一定周期毎にAD変換するサンプリングの位相を変えてAD変換することで、等価的に高いサンプリング周波数でAD変換された測定が可能なデジタイザを備える半導体試験装置を提供する。【解決手段】被測定信号は一定周期Tで繰返し発生可能な出力信号であり、所定時間間隔Ts毎に被測定信号をサンプリングクロックによりサンプリングしてコードデータに変換するAD変換器を用いる波形デジタイザを備える半導体試験装置において、一定周期T毎に所定時間間隔Tsのサンプリングクロックの位相を所定の位相シフト量ΔP=360/Mづつ変えたサンプリングクロックを発生する位相シフト手段を備えて周期回数Mの期間測定することにより、被測定信号を等価的にTs/Mの等間隔でサンプリングする波形デジタイザを実現した半導体試験装置。

請求項（抜粋）：

被試験デバイス(DUT)から出力されるアナログの被測定信号は一定周期Tで繰返し発生可能な出力信号であり、所定時間間隔Ts毎に該被測定信号をサンプリングクロックによりサンプリングしてコードデータに変換するAD変換器(ADC)を用いる波形デジタイザを備える半導体試験装置において、一定周期T毎に該所定時間間隔Tsのサンプリングクロックの位相を所定の位相シフト量ΔP=360/M(ここでMは周期回数)づつ変えたサンプリングクロックを発生する位相シフト手段を備えて周期回数Mの期間測定することにより、被測定信号を等価的にTs/Mの等間隔でサンプリングする波形デジタイザを実現したことを特徴とする半導体試験装置。

IPC (4件)：

G01R 31/316 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H03M 1/12

FI (4件)：

G01R 31/28 C ,  G01R 31/26 G ,  H03M 1/12 C ,  G01R 31/28 H

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 周波数特性測定法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-245491   出願人：株式会社日立製作所
• 画像処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-319773   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平1-287483