特許
J-GLOBAL ID：200903084235803555
微細構造の構造寸法計測方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-216923
公開番号（公開出願番号）：特開平8-082632
出願日： 1994年09月12日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：
【要約】【目的】 構造寸法を容易に計測する。【構成】 理論測定ライン幅FL(x)をライン状凸部1のライン幅L、探針2の先端球状部の半径rを定数とし、ライン状凸部1の上面平坦部からの距離xを変数とする関数FL(x)=L+2√{r2-(r-x)2}のように数学的表現として定式化し、実際にライン状凸部1を測定することにより実際測定寸法を求め、実際測定寸法と定式化した理論測定ライン幅FL(x)とからライン幅L、半径rを変数として用いてパラメータフィッティング法によりライン幅L、半径rを決定する。
請求項（抜粋）：
走査プローブ顕微鏡により微細構造の特徴的な構造寸法を計測する方法において、理論測定寸法を上記微細構造の少なくとも1つの構造寸法および上記走査プローブ顕微鏡の探針の少なくとも1つの形状寸法を定数とする数学的表現として定式化し、実際測定寸法と定式化した上記理論測定寸法とから上記構造寸法および上記形状寸法を変数として用いてパラメータフィッティング法により上記構造寸法を決定することを特徴とする微細構造の構造寸法計測方法。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
